納米壓痕技術(shù)也稱深度敏感壓痕技術(shù)，是簡單的測試材料力學性質(zhì)的方法之一，在材料科學的各個領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用。
納米壓痕儀，又稱納米壓入儀，主要用于微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過力與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。適用于有機或無機、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學薄膜，微電子鍍膜，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等。
納米壓痕技術(shù)大體上有5種技術(shù)理論：
(1)Oliver和Pharr方法：根據(jù)試驗所測得的載荷一位移曲線，可以從卸載曲線的斜率求出彈性模量，而硬度值則可由最大加載載荷和壓痕的殘余變形面積求得。該方法的不足之處是采用傳統(tǒng)的硬度定義來進行材料的硬度和彈性模量計算，沒有考慮納米尺度上的尺寸效應(yīng)。
(2)應(yīng)變梯度理論：材料硬度H依賴于壓頭壓人被測材料的深度h，并且隨著壓人深度的減小而增大，因此具有尺度效應(yīng)。該方法適用于具有塑性的晶體材料。但該方法無法計算材料的彈性模量。
(3)Hainsworth方法：由于卸載過程通常被認為是一個純彈性過程，可以從卸載曲線求出材料彈性模量，并且可以根據(jù)卸載后的壓痕殘余變形求出材料的硬度。該方法適用于超硬薄膜或各向異性材料，因為它們的卸載曲線無法與現(xiàn)有的模型相吻合。該方法的缺點是材料的塑性變形假設(shè)過于簡單，缺乏理論上支持。
(4)體積比重法：主要用來計算薄膜／基體組合體系的硬度，但多局限于試驗研究方法，試驗的結(jié)果也難以*排除基體對薄膜力學性能的影響。
(5)分子動力學模擬：該方法在原子尺度上考慮每個原子上所受到作用力、鍵合能以及晶體晶格常量，并運用牛頓運動方程來模擬原子間的相互作用結(jié)果，從而對納米尺度上的壓痕機理進行解釋。
